LL1系列质量流量计

Alicat流计能够补偿过程温度和压力的变化,相应速度10毫秒、稳定和准确的读数,具有丰富的数据报告和通信能力。

从0.5SCCM到60 OOSLPM满

量程的任何流量。

LK2系列质量流量控制器

结合质虽流量计的特性,配以比列控制阀,使其具有*的通用性、高精度和控制速度。Alicat的质量流量控制器提供独立控制,以毫秒为单位对变化进行调整,使得下游流量平稳,还可以在测量质流的同时控制压力。从0.5SCCM到6000SLPM满量程的任何流量范围内进行控制。