快速断开清洁联轴器 特征

・快速连接管路，防止泄漏或内部流体。

・使得能够单手连接线路。

・带管件的整体结构：紧凑，泄漏风险小。CSE接头在半导体制造设备中得到验证。

・紧凑但确保大容量。（与我们的其他联轴器相比）

・使用清洁零件（*无油）：在洁净室清洁每个零件后组装。密封材料中不使用油。

・锁套结构。可承受横向载荷的锁套。

快速断开清洁联轴器 规格

・流体：空气（清洁空气）、氮气，氟基制冷剂

・最大工作压力：0.6MPa（23℃时）