化学过滤器

<對象物質>

●鹼性物質(氨、胺類等)。

●酸性物質(氯化氫、硫化氫、二氧化硫等)。

●有機物質(高沸點有機物、矽氧烷等)。

<用途>

●裂造裝置內或設備配管內的清淨化。

●去除給排氣系統使用的壓縮空氣内的微量氣體。

●去除裂品捆包時的麈埃、N2 Purge類氣體的代替品。

<使用例>

●半導體、液晶曝光装置、計測儀器遇邊、檢查工程。

●黏結機器、雷射加工機等。

●太陽電池玻璃基板加工.食品加工、再生醫療、分析機器。

化学过滤器

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